半导体行业离子注入机离子源钨钼组件。 离子注入是现代集成电路制造中的一种很是主要的手艺,其使用离子注入机实现半导体的掺杂,纵然用钨丝作为阴极发射电子轰击含有特定的杂质元素的气体分子,爆发电离的特定杂质原子经静电场加速后打到硅单晶圆片外貌,并打入半导体内部,改变导电特征并最终形成晶体管结构。
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