真空炉
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蒸发式镀膜机常用蒸起源是用来加热膜材使之汽化蒸发的装置。现在所用的蒸起源主要有电阻加热、电子束加热、感应加热、电弧加热和激光加热等多种形式。
电阻加热式蒸起源:电阻式蒸起源简朴、经济、可靠,被普遍应用。电阻加热式蒸起源的发热质料一样平常选用W、Mo、Ta、Nb等高熔点金属及Ni和Ni-Cr合金。
该蒸起源具有以下特点:
1、高熔点;2、低的饱和蒸气压;3、化学性能稳固。
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